MICRO-SC-120

桌面式精密涂层制备系统

1. 雾化颗粒10-40μm
2. 适用溶液粘度：小于40cp；材料利用率：大于95%
3. 配有200万检测相机，可检测喷涂宽幅，自动优化其参数
4. 数字化超声驱动电源，频率实时跟踪反馈
5. 单通道精密恒流微量注射泵，提供精度0.001ml/min
6. 涂覆宽幅：2mm-100mm（选配喷头类型）
7. 最大涂覆速度：80mm/s; 涂覆移动精度：±0.005mm
8. X/Y/Z 三轴伺服控制系统；最大涂覆面积：400×400mm
9. 多轴旋转气缸，可实现水平和竖直喷涂切换
10. 精密加热平台，提供在线烧结，温度0-200℃可调（可选配0-500℃陶瓷烧结台）
11. 工业精密运动控制卡控制，显示器人机交互
12. 精密吸附定位，满足柔性基底制备需求
13. 单层薄膜厚度300nm-20μm
14. 薄膜均匀性优于10%
15. 材料粘附力强，优于4B
16. 设备体积：1200×950×1600mm
17. 设备重量：280kg
18. 接口需求：电源220VAC 50/60Hz；压缩空气：0.5MPa （*可根据客户需求添加其他功能(选配)）

MICRO-SC-200 

立式精密涂层制备系统

1. 雾化颗粒10-40μm
2. 适用溶液粘度：小于40cp；材料利用率：大于95%
3. 涂覆宽幅：2mm-100m（选配喷头类型）
4. 数字化超声驱动电源，频率实时跟踪反馈
5. 单通道精密恒流微量注射泵，提供精度0.001ml/min
6. X/Y/Z 三轴伺服控制系统；最大涂覆面积：350×350mm
7. 最大涂覆速度：80mm/s; 涂覆移动精度：±0.005mm
8. 精密加热平台，提供在线烧结，温度0-200℃可调（可选配0-500℃陶瓷烧结台）
9. 工业精密运动控制卡控制，全彩触摸屏人机交互
10. 精密吸附定位，满足柔性基底制备需求
11. 单层薄膜厚度300nm-20μm
12. 薄膜均匀性优于10%
13. 材料粘附力强，优于4B
14. 根据需求，可完成水平及竖直方向喷涂
15. 设备体积：800×650×4800mm  (不含配电柜尺寸)
16. 设备重量：120kg；压缩空气：0.5MPa
17. 接口需求：电源220VAC 50/60Hz（*可根据客户需求添加其他功能(选配)）